如何校准半导体金相显微镜-请看这里[博越仪器]

如何校准检测半导体金相显微镜呢？怎样的显微镜能称为半导体金相显微镜呢？半导体金相显微镜是用于检测哪些产品？半导体金相显微镜是鉴定成品材料质量必不可少的仪器。半导体金相显微镜主要通过材料显微组织的定性，定量晶界组织等表征识别来对材料工艺流程，物理特性，失效成因等综合因素做出科学的判断，并对金属细微结构以及非金属夹杂物的分布形貌等进行科学研究。

如何校准检测半导体金相显微镜？1、物镜场曲。将一半导体金相显微镜物镜安装好，将0.01mm标准测微尺放在工作台上并压紧；旋转调焦旋钮，将焦点调整在测微尺的中间，视场中心成像清晰，此时将千分表测头与工作台表面相接触并对好表的零位；再次旋转半导体金相显微镜调焦旋转，把焦点调整到测微尺的边缘，使视场边缘成像清晰。半导体金相显微镜观察千分表，其zui大偏移量即为该物镜的场曲误差，其余物镜以此类推进行校准。2、物镜放大倍数的正确性。半导体金相显微镜装上10X标准目镜和被检物镜，将0.01mm标准没微尺放在工作台上并压紧。半导体金相显微镜观察时测微尺应与目镜中的分划板相符合，其偏移量测是放大倍数的误差。其余物镜以此类推进行校校准，其误差不大于5%。

3、目镜分划板的准确度。将带分划板目镜的镜头旋下，把分划板放置在万工显工作台上并调好焦距；调整半导体金相显微镜工作台，使分划板的水平线与万工显纵向导轨行程平行并对好零位，按每20格测量一次，直到第100格，其误差不大于5um。4、物镜成像清晰范围。用被检物镜及10X目镜对测微尺或金相试样进行调焦，使成像清晰。当视场中心像zui清晰时，半导体金相显微镜测得视场内的成像清晰范围的误差不低于60%。5、各物镜相对于目镜的格值。装上被检半导体金相显微镜的10X目镜，将0.01mm标准测微尺（推荐使用随机0.01mm测微尺）放在工作台上并压紧；调整测微尺标尺轴线与半导体金相显微镜目镜分划板标尺轴线平行，并读出目镜分划板i条刻线里包含测微尺n条刻线数，该物镜相对于目镜的格值为：C=n/i*0.01mm.其余物镜的格值以此类推进行校准。

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