场发射扫描电子显微镜-原理及应用范围[博越仪器]

场发射扫描电子显微镜是电子显微镜的一种，扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。

场发射扫描电子显微镜利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等，获得忠实原貌的立体感强的样品表面超微形貌结构信息。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

场发射扫描电子显微镜（简称场发射扫描电镜）是研究微观世界的重要工具之一，有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构，有较高的放大倍数，20-30万倍之间连续可调，为人们在微纳米尺度上研究物质的结构提供了有力的手段，在材料科学等众多学科领域及质量过程控制中得到日益广泛的应。

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