电子显微镜原理-简单易懂介绍[博越仪器]

电子显微镜原理是采用电子束为光源，照射固体材料，以电子束散射的电子为信号，主要用于对材料表面或内部结构形态形貌进行高分辨成像，包括透射电子显微镜（TEM）、扫描透射电子显微镜（STEM）、扫描电子显微镜（SEM）。下图包括SEM和STEM高分辨图像。

电子显微镜原理是利用，对电子束进行折射的物质为电场或磁场，中心对称的磁场，其成像性质和高斯透镜几何光学一级近似，被称为磁透镜。磁透镜可以是永磁和电磁。地球沿着南北极贯穿，可以看做一个巨大的磁透镜，磁透镜焦距固定；电磁透镜通过改变线圈电流可改变透镜磁场强度，从而改变透镜焦距。

基于电子显微镜原理，其电子显微成像方式TEM成像采用平行入射电子束照射样品，后续的电磁透镜通过同时聚焦从样品各个像素点发出的不同散射方向透射电子（TE-transmission electron），从而对电子束照射区域进行放大成像，通过调节中间的电磁透镜焦距，可实现放大倍数调节，最后用投影镜将物像照射在图像记录或显示上；SEM/STEM使用汇聚电子束照射样品 ，逐点扫描成像，空间分辨率和汇聚电子束束斑直径相关，通过改变电子束扫描区域大小来改变放大倍数。

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