光谱仪的光学系统是由入射狭缝、光栅、出射狭缝及罗兰圆组成——其目的是让采集到的一束复合光通过光学系统的分光作用后变成单色光,找到每个元素的特征分析谱线。
光谱仪的光学系统的光学室特性,真空光室测试UV波段的元素:C、N、O、P、S、B。主要应用在Fe基或是其他的合金(如:Ti,Al…);空气光室测试可见光波段和红外波段元素。温度是常数(恒定)。几何结构:罗兰圆、衍射光栅、检测器根据这些来定位。
罗兰圆的作用:是一个经典的分光结构,能将入射狭缝,光栅和出射狭缝同时聚焦在罗兰圆上。光栅的作用:分光--使复合光变成单色光。远紫外光的分光特点:波长短,能量高,要求光栅具有极强的分光能力,故应选择高刻线光栅如3600条/mm进行分光,且为了减少紫外光能量损失,应选择对远紫外光吸收小的材料作光栅。可见光的分光特点:波长居中,能量居中,要求光栅具有较强的分光能力,故应选择中刻线光栅2400条/mm进行分光,且对光栅材质无特殊要求。
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